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半导体晶圆制造设备及备件研发制造项目
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- 【编号】
- 【名称】 半导体晶圆制造设备及备件研发制造项目
- 【用途】
- 【关键词】 半导体设备
- 【页码】 页
- 【字数】 字
- 【图表数量】 个
- 【价格】 元
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内容简介:
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本项目主要从事半导体晶圆制造设备及备件研发、制造,其中半导体晶圆制造设备的再制造主要为对回收的旧设备进行维修、翻新,项目建成后年产半导体晶圆制造设备 24 台。
报告目录:
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本项目总投资 1000万元,租赁建筑面积为14352.3m。本项目主要从事半导体晶圆制造设备及备件研发、制造,其中半导体晶圆制造设备的再制造主要为对回收的旧设备进行维修、翻新,本项目工艺主要为手工组装,不涉及焊接等工艺。项目建成后年产半导体晶圆制造设备 24 台。
项目主要建设内容一览表
项目 名称 内容和规模
主体工程
生产用房 主要有无尘室、厂务设施区、备件维修区、装卸区和仓库等。
办公用房 设有办公室、资料室、会议室等。
公用工程给水系统 园区市政给水管网引入,预计用水量 242t/a。
排水系统 纳入创运路市政污水管网,预计排水量 217.8t/a。
供电系统 园区市政电网引入。本项目完成后产品种类和规模
序号 产品名称 规格型号 年产量
1 半导体晶圆制造设备 PVD 10 台
2 半导体晶圆制造设备 CVD 10 台
3 半导体晶圆制造设备 Etch 4 台
项目主要原辅材料用量一览表
名称 年用量 形态 储存位置 用途
半导体晶圆制造旧设备 24 台 固态 洁净室 原料
工艺腔体备件 24 套 固态 洁净室 备件
加热模块备件 24 套 固态 洁净室 备件
控制模块备件 24 套 固态 洁净室 备件
测试模块备件 24 套 固态 洁净室 备件
电源、信号传输模块备件 24 套 固态 洁净室 备件
启动模块备件 24 套 固态 洁净室 备件
压力控制模块备件 24 套 固态 洁净室 备件
项目所使用的设备列表设备名称 数量(台) 用途 摆放位置
热交换器 2 测试
真空泵 2 辅助设备 厂务设施区
空气压缩机 2 辅助设备
氦气捡漏仪 2 检验
制冷机 2 测试 洁净室
射频发生器 2 检验
艺流程说明:
(1) 设备拆解:(2) 备件检测:
(3) 设备组装/装机:
(4) 设备调试:
(5) 成品:
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